Verhoog de productie Rapid Thermal Processing RTP-SA-8 Annealing System

1.Basisconfiguratie van het apparatsysteem

1.1plan

De Rapid Thermal Processing is een verticale semi-automatische 8-inch wafer snel gloeiende oven, die twee lagen infrarood halogeenlampen gebruikt als warmtebronnen voor verwarming.De interne kwartsholte is geïsoleerd en geïsoleerd, en de buitenste behuizing van de holte is gemaakt van met water gekoelde aluminiumlegering, waardoor een gelijkmatige verwarming van het product en een lage oppervlaktetemperatuur worden gewaarborgd.

Rapid Thermal Processing gebruikt PID-controle en het systeem kan snel het uitgangsvermogen van infraroodhalogeenlampen aanpassen, waardoor de temperatuurcontrole nauwkeuriger wordt.

1.2.Voorwaarden van het product

Dubbele laag infrarood halogeenlampenbuisverwarming, snelle stikstofkoeling;

onafhankelijk ontwikkelde gegroepeerde opstelling van lampbuizen om de temperatuursomstandigheden te verbeteren;

met behulp van PID-algoritmebesturing, real-time aanpassing van het lampvermogen;

Gebruikersaccounts zijn verdeeld in drie niveaus van machtigingen voor een handig informatiebeheer;

De hoofdinterface van de software kan realtime parameters weergeven, zoals gas, temperatuur, vacuümgraad, enz.;

Het systeem slaat automatisch relevante informatie voor elk proces op;

Automatisch foutmeldingen herkennen en het apparaat automatisch beschermen bij afwijkingen:

Oververhittingsdetectie: de temperatuur van de door water gekoelde aluminiumlegering op de buitenste behuizing van de kamer overschrijdt 70 °C.

Thermocoupledetectie: tijdens het systeemproces komt de thermocoupledetectiewaarde niet overeen met de ingestelde waarde.

Verwarmingsdetectie: abnormaal uitgangsvermogen tijdens verwarming.

Het detecteren van de deurvergrendeling van de oven: controleer of de deurvergrendeling voor elk proces is vergrendeld.

Gasdetectie: de gasdruk overschrijdt het ingestelde bereik, de gasdruk is te hoog of te laag.

Waterstroomdetectie: de inlaatstroom is lager dan de standaardwaarde.

Ontsluiting van het voertuig:

Noodstopknop: onmiddellijk het proces stoppen en de warmtebron afsluiten.

1.3.Snelle thermische verwerkingindustriële toepassingen

Ionenimplantatie-opgloeiing

Snel gloeien na ITO-coating

oxide

Nitride-groei

Verwarming van silicidelegeringen

Galliumarsenideproces

met een breedte van niet meer dan 50 mm

Oxidatieve reflux

Andere halfgeleiders voor snelle warmtebehandeling

2.Configuratie van de hoofdapparatuur

2.1.Algemene parameter van de apparatuur

2.2Configuratiecontrolelijst

Standaardconfiguratie

2.3.Gemeenschappelijk verbruiksmateriaal

3.Expectatie van het uiterlijk en voorschriften voor tijdelijke opslag vóór de installatie van de apparatuur bij binnenkomst

• Na de aankomst van de uitrusting van de leverancier is partij A verantwoordelijk voor de controle van het aantal stukken en de verpakking om ervoor te zorgen dat deze intact zijn en is zij verantwoordelijk voor de bewaring;We moeten ook Shanghai Ganova helpen met het transport van de apparatuur naar de installatieplaats., waardoor de installatie gemakkelijk is.

• Of de binnen- en buitenverpakking van de apparatuur intact is en of er duidelijke beschadigingen, schrammen of schilferingen zijn

• Of er vuil of roest in en buiten de machine is

• Controleer of de kenmerken van de naamplaat overeenstemmen met de apparatuur

• In overeenstemming met de standaardconfiguratie van de apparatuur in deze technische overeenkomst, tel elk item één voor één en vul de gegevens van de reserveonderdelen en toebehoren in,evenals de software naam in de unboxing record om volledige configuratie te waarborgen.

• De host en interne componenten van het gloednieuwe apparaat moeten gloednieuw zijn

• Bewaar de apparatuur in een schone ruimte zonder trillingen